Razvoj postrojenja za proizvodnju kisika VPSA

Godine 1891. njemačka tvrtka Linde započela je s radom na ukapljivanju zraka u laboratoriju tvrtke za proizvodnju rashladnih strojeva.
Godine 1895. profesor Linde napravio je prvi uređaj s tekućim zrakom koristeći Joule-Thomsonov učinak.
Godine 1901. Linde je osnovao tvornicu za proizvodnju kriogene opreme u Münchenu.
Godine 1902. dovršena je oprema za odvajanje zraka za prvi jednostupanjski toranj za ispravljanje koji je dizajnirao Linde. Francuski Švaba izumio je stroj za ekspanziju i osnovao tvrtku Air Liquefaction u Parizu.
Godine 1903. Linde je napravio prvi industrijski generator kisika od 10 m3/h, koristeći proces prigušenja visokog tlaka.
Godine 1910. Francuska je napravila prvi generator kisika od 50 m3/h koristeći proces srednjeg tlaka s klipnim ekspanzijskim strojem.
Godine 1920. Hyland, Njemačka, izumio je visokotlačni proces za proizvodnju tekućeg kisika s visokotlačnim ekspanzionim strojem.
Godine 1924., Frankel je predložio da se u velikoj opremi za odvajanje zraka umjesto običnih izmjenjivača topline koriste metalni rashladnici.
Godine 1926. Frankel je predložio uobičajeni oblik akumulatora hladnoće.
Godine 1930. Linde je napravio prvu industrijsku jedinicu Linde Frankel s učinkom od 255 m3/h i čistoćom od 99,5 posto O2.
Godine 1932. turboekspander je prvi put korišten na Linde-Frankel jedinici. Kisik je prvi put korišten u metalurgiji i sintezi amonijaka u Njemačkoj.
Godine 1939. Sovjetski Savez stvorio je visokoučinkoviti turboekspander i počeo proučavati kompletnu opremu za odvajanje zraka pod niskim tlakom.
Godine 1947. Linde se posvetio industrijskoj opremi za proizvodnju kisika s punim donjim tlakom. Sovjetski Savez počeo je projektirati velika industrijska postrojenja za kisik s potpuno niskotlačnim procesima.
U 1949, Sjedinjene Države po prvi put u 29000m3/h kisika generatora na primjeni ploča savijanje izmjenjivača topline.
Godine 1952. Austrija je prvi put upotrijebila konverter s gornjim puhanjem čistog kisika za proizvodnju čelika, što je dovelo do naglog povećanja metalurškog kisika.
Godine 1955. Sjedinjene Države snažno su razvijale projektile i trošile veliku količinu tekućeg kisika kao akcelerant.
Godine 1957. napravljen je prvi automatski pokretani generator kisika od 120 tona/dan.
Godine 1960. Japan je dovršio 10000 m3/h99,6 posto O2 i 10000 m3/h99,99 posto N2 dvostruku opremu visoke čistoće, punu niskonaponsku opremu.
Godine 1972. Francuska je napravila najveći svjetski kapacitet opreme za odvajanje čistog kisika iz zraka: 1700 tona/dan O2 i 1500 tona/dan N2.
Veće jedinice su još u fazi proučavanja.