
PSA generator kisika za poluvodič
Opis
Tehnički parametri
Zašto industriji poluvodiča trebaju PSA generatore kisika?
Povjeravanje plina visoke čistoće:Poluvodička proizvodnja ima stroge zahtjeve za čistoću plina, a kisik visoke čistoće neophodan je za litografiju, čišćenje i druge veze. Uz pomoć adsorpcijske tehnologije ljuljanja tlaka, generator PSA kisika proizvodi kisik s čistoćom od 95%± 3%, što zadovoljava zahtjeve stvaranja oksidnog sloja i čišćenja vafova, a izbjegava rizik od onečišćenja nečistoće u opskrbi tradicionalnom plinskom cilindrom.
Osigurati stabilnost procesa:Linije za proizvodnju poluvodiča zahtijevaju kontinuirano i stabilno opskrbu plinom. PSA generator kisika koristi dvostruke adsorpcijske tornjeve za rad naizmjenično, a putem PLC inteligentne kontrole, može postići 24- sat, neprekidno opskrba kisikom, izbjegavati prekide proizvodnje uzrokovanih ručnom zamjenom boca i prilagođavanje procesima osjetljivim na tlak zraka poput tlaka tankog filma i etching -a.
Smanjite troškove i optimizirajte prostor:U usporedbi s tekućim spremnicima kisika i plinskim cilindrima visokog tlaka, generatori PSA kisika proizvode kisik na licu mjesta, što u velikoj mjeri smanjuje troškove transporta i skladištenja. Ima mali otisak i podržava modularno širenje, što zadovoljava potrebe za maksimiziranjem iskorištavanja prostora u čistim radionicama tvornica poluvodiča. Trošak dugoročne uporabe je oko 20% niži od tradicionalne metode.
Prilagoditi se posebnim procesima:U naprednim procesima, neki posebni procesi zahtijevaju preciznu kontrolu koncentracije kisika. PSA generator kisika može fleksibilno prilagoditi čistoću izlaza kisika (95%-99. 9%) podešavanjem tlaka adsorpcije i molekularnog sita kako bi se zadovoljile posebne zahtjeve procesa 3D Nand Flash memorije.
Ekološki prihvatljiv i jednostavan za održavanje:PSA tehnologija ne zahtijeva kemijske reagense, a proces proizvodnje kisika ne emitira štetne tvari, što zadovoljava standarde zaštite okoliša u industriji poluvodiča. Oprema koristi od nehrđajućeg čelika od nehrđajućeg čelika i samočišćenja hrane, s ciklusom održavanja do 3-5 godina, i pogodna je za proizvodna okruženja s velikim čistom.

| kategorija | Detalji parametara |
| Čistoća kisika | 93% -99. 5% (ULPA sustav za filtraciju može se prilagoditi, sadržaj nečistoće manji od ili jednak 1ppb) |
| Izlazni tlak | 0. 5-1. 5MPA (podesiv, prilagođen standardu unosa zraka u poluvodičkoj opremi) |
| Raspon protoka | 10-5000 nm³/h (podržava paralelno širenje više jedinica) |
| Točka rose | Manji ili jednak -70 stupnju (kako bi se spriječilo da vodena para zagađuje procesno okruženje) |
| Energetska učinkovitost | Manje od ili jednako 0. 38KWH/nm³ (pogon frekvencije visoke učinkovitosti, ušteda energije više od 30%) |
| Razina buke | Manje od ili jednako 65DB (niska vibracijska struktura + zvučno izolirana školjka, u skladu s standardima čiste sobe klase 1000) |
Temeljne prednosti generatora PSA kisika

Ultra-visoka garancija čistoće
Dvoslojni molekularni sloj sita i katalitička oksidacijska jedinica koriste se za duboko uklanjanje nečistoća kao što su ugljikovodici i CO₂, a čistoća kisika doseže više od 99,5%, udovoljavajući standardu polu-f20. Ugrađeni internetski analizator u stvarnom vremenu, sinkronizacija podataka u tvornički SCADA sustav kako bi se osigurala stabilnost procesa.
Inteligentna kontrola i suvišni dizajn
Integrirani PLC+HMI upravljački sustav, podržava daljinsko nadgledanje, samo dijagnozu grešaka i prebacivanje u hitnim slučajevima (suvišna adsorpcija dvostrukog tornja). Tehnologija automatske kompenzacije tlaka kako bi se nosila s trenutnom visokom potražnjom opreme poluvodiča.
Otopina za uštedu energije s niskim udjelom ugljika
VPSA (adsorpcija ljuljanja vakuumskog tlaka) Sinergistička tehnologija smanjuje potrošnju energije, štedeći 15% -20% energije u usporedbi s tradicionalnim modulom za oporavak otpadne topline PSA.Option za smanjenje toplinskog opterećenja radionice.
Kompatibilnost čiste sobe
Sav kanal protoka od nehrđajućeg čelika + nano premaz kako bi se izbjegla kontaminacija metalnih iona; Zero brtvljenje propuštanja, prošla je ISO 8573-1 klasa 0 certifikacija.
PSA tipovi biljaka kisika

Modularna oprema

Oprema blizanca

Kontejnerirana oprema
| Odabir NTK95 serije PSA Oxygen Generator | ||||||
| Ne. | Modeli | Kapacitet (NM3/HR) |
Čistoća | Potrošnja energije od 1nm3 proizveden kisik (KW/H) |
Broj boca Flid u 12 sati (računala) |
Potreban je operator |
| 1 | Ntk 95-5 P | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 P | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 P | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 P | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 P | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 P | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 P | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 P | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 P | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 P | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 P | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
Česta pitanja
1. Koliko visoka može biti čistoća kisika i ispunjava li zahtjeve za izradom poluvodiča?
Naš generator kisika PSA za poluvodiče može rutinski proizvoditi kisik s čistoćom od 95%± 3%. Za neke procese koji zahtijevaju izuzetno visoku čistoću kisika, prilagođavanjem parametara opreme, čistoća izlaza kisika može se fleksibilno kontrolirati u rasponu od 95% - 99. 9%, u potpunosti ispunjavajući stroge zahtjeve za čistoćom plina u jezgrovim vezama, kao što su poluvodička litografija i oksidacija.
2. Koliko je oprema stabilna i može li osigurati kontinuirani rad linije za proizvodnju poluvodiča?
Oprema prihvaća dvostruki adsorpcijski toranj izmjenjujući način rada, u kombinaciji s PLC inteligentnim upravljačkim sustavom, kako bi se postigao 24- sat neprekinutih i stabilnih opskrba kisikom. Ovaj automatizirani način rada izbjegava prekide opskrbe plinom uzrokovanom ručnom zamjenom boca, omogućuje pouzdanu i stabilnu opskrbu plinom za procese poput taloženja tankog filma i jetkanja koji su osjetljivi na tlak zraka, a učinkovito smanjuje rizik od prekida proizvodnje uzrokovanih problemima s opskrbom plinom.
3. U usporedbi s tradicionalnim metodama opskrbe kisikom, koliki je trošak upotrebe?
U usporedbi s tekućim spremnicima za skladištenje kisika ili plinskim cilindrima visokog pritiska, naš generator PSA kisika prihvaća način proizvodnje kisika na licu mjesta, koji u velikoj mjeri štedi troškove transporta i skladištenja kisika. Oprema zauzima malo područje i može se proširiti modularno, smanjujući troškove najma mjesta. Dugoročno, trošak je oko 20% niži od tradicionalne metode opskrbe kisikom, što značajno štedi operativne troškove.
4. Je li održavanje opreme komplicirano? Koliko traje ciklus održavanja?
Oprema je jednostavna za održavanje, koristeći nehrđajući čelik u hrani i samočišćenja molekularnih sita, što uvelike smanjuje opterećenje održavanja. U normalnim okolnostima, ciklus održavanja je dužan 3-5, a mi smo opremljeni profesionalnim timom za nakon prodaje kako bismo pružili tehničku podršku u bilo kojem trenutku kako bismo vam pomogli u rješavanju problema tijekom rada opreme.
Zakonite sada kako biste osigurali svoj lanac opskrbe kisikom
✅ Prilagođena rješenja:
Recite nam svoj krevet i vršnu potražnju za prilagođenim prijedlogom.
✅ Brza dostava:
Prethodni moduli isporučeni u 8-12 tjednima.
✅ Opcije financiranja:
Dostupni su planovi za iznajmljivanje.
Telefonski broj
+86 15888864725
Whatsapp broj
+86 15888864725
E-pošta
sales@newtek-group.com

Popularni tagovi: PSA generator kisika za poluvodič, kineski PSA generator kisika za poluvodič, dobavljače, tvornicu, PSA biljka kisika
Pošaljite upit
Javite nam se
Napišite svoju poruku














