PSA generator kisika za poluvodič

PSA generator kisika za poluvodič

U kontekstu izuzetno visokih zahtjeva za čistoću i stabilnost plina i stabilnost poluvodiča, PSA generator kisika koristi tehnologiju adsorpcije tlaka (PSA), koristi zrak kao sirovina i iskorištava razliku u kapacitetu adsorpcije plina adsorbenta pod različitim pritiscima do učinkovitog odvojenog kisika visokog sigurnosti. Generator kisika može izvesti kisik s preciznom čistoćom i stabilnim protokom, ispunjavajući stroge zahtjeve za kisikom u svim aspektima proizvodnje poluvodiča od prerade vafla do pakiranja čipa. Oprema ima visok stupanj automatizacije, može dugo djelovati stabilno, smanjiti troškove rada i održavanja i fleksibilno prilagoditi različite parametre kako bi se stvorilo pouzdano, učinkovito i ekonomično rješenje za opskrbu kisikom za proizvođače poluvodiča, pomažući industriji poluvodiča u poboljšanju učinkovitosti proizvodnje i kvalitete proizvoda.
Pošaljite upit

Opis

Tehnički parametri

 
Zašto industriji poluvodiča trebaju PSA generatore kisika?

 

Povjeravanje plina visoke čistoće:Poluvodička proizvodnja ima stroge zahtjeve za čistoću plina, a kisik visoke čistoće neophodan je za litografiju, čišćenje i druge veze. Uz pomoć adsorpcijske tehnologije ljuljanja tlaka, generator PSA kisika proizvodi kisik s čistoćom od 95%± 3%, što zadovoljava zahtjeve stvaranja oksidnog sloja i čišćenja vafova, a izbjegava rizik od onečišćenja nečistoće u opskrbi tradicionalnom plinskom cilindrom.
Osigurati stabilnost procesa:Linije za proizvodnju poluvodiča zahtijevaju kontinuirano i stabilno opskrbu plinom. PSA generator kisika koristi dvostruke adsorpcijske tornjeve za rad naizmjenično, a putem PLC inteligentne kontrole, može postići 24- sat, neprekidno opskrba kisikom, izbjegavati prekide proizvodnje uzrokovanih ručnom zamjenom boca i prilagođavanje procesima osjetljivim na tlak zraka poput tlaka tankog filma i etching -a.
Smanjite troškove i optimizirajte prostor:U usporedbi s tekućim spremnicima kisika i plinskim cilindrima visokog tlaka, generatori PSA kisika proizvode kisik na licu mjesta, što u velikoj mjeri smanjuje troškove transporta i skladištenja. Ima mali otisak i podržava modularno širenje, što zadovoljava potrebe za maksimiziranjem iskorištavanja prostora u čistim radionicama tvornica poluvodiča. Trošak dugoročne uporabe je oko 20% niži od tradicionalne metode.
Prilagoditi se posebnim procesima:U naprednim procesima, neki posebni procesi zahtijevaju preciznu kontrolu koncentracije kisika. PSA generator kisika može fleksibilno prilagoditi čistoću izlaza kisika (95%-99. 9%) podešavanjem tlaka adsorpcije i molekularnog sita kako bi se zadovoljile posebne zahtjeve procesa 3D Nand Flash memorije.
Ekološki prihvatljiv i jednostavan za održavanje:PSA tehnologija ne zahtijeva kemijske reagense, a proces proizvodnje kisika ne emitira štetne tvari, što zadovoljava standarde zaštite okoliša u industriji poluvodiča. Oprema koristi od nehrđajućeg čelika od nehrđajućeg čelika i samočišćenja hrane, s ciklusom održavanja do 3-5 godina, i pogodna je za proizvodna okruženja s velikim čistom.
 

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

 

 

kategorija Detalji parametara
Čistoća kisika 93% -99. 5% (ULPA sustav za filtraciju može se prilagoditi, sadržaj nečistoće manji od ili jednak 1ppb)
Izlazni tlak 0. 5-1. 5MPA (podesiv, prilagođen standardu unosa zraka u poluvodičkoj opremi)
Raspon protoka 10-5000 nm³/h (podržava paralelno širenje više jedinica)
Točka rose Manji ili jednak -70 stupnju (kako bi se spriječilo da vodena para zagađuje procesno okruženje)
Energetska učinkovitost Manje od ili jednako 0. 38KWH/nm³ (pogon frekvencije visoke učinkovitosti, ušteda energije više od 30%)
Razina buke Manje od ili jednako 65DB (niska vibracijska struktura + zvučno izolirana školjka, u skladu s standardima čiste sobe klase 1000)


 

Temeljne prednosti generatora PSA kisika
 

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Ultra-visoka garancija čistoće
Dvoslojni molekularni sloj sita i katalitička oksidacijska jedinica koriste se za duboko uklanjanje nečistoća kao što su ugljikovodici i CO₂, a čistoća kisika doseže više od 99,5%, udovoljavajući standardu polu-f20. Ugrađeni internetski analizator u stvarnom vremenu, sinkronizacija podataka u tvornički SCADA sustav kako bi se osigurala stabilnost procesa.
 

Inteligentna kontrola i suvišni dizajn
Integrirani PLC+HMI upravljački sustav, podržava daljinsko nadgledanje, samo dijagnozu grešaka i prebacivanje u hitnim slučajevima (suvišna adsorpcija dvostrukog tornja). Tehnologija automatske kompenzacije tlaka kako bi se nosila s trenutnom visokom potražnjom opreme poluvodiča.
 

Otopina za uštedu energije s niskim udjelom ugljika
VPSA (adsorpcija ljuljanja vakuumskog tlaka) Sinergistička tehnologija smanjuje potrošnju energije, štedeći 15% -20% energije u usporedbi s tradicionalnim modulom za oporavak otpadne topline PSA.Option za smanjenje toplinskog opterećenja radionice.
 

Kompatibilnost čiste sobe
Sav kanal protoka od nehrđajućeg čelika + nano premaz kako bi se izbjegla kontaminacija metalnih iona; Zero brtvljenje propuštanja, prošla je ISO 8573-1 klasa 0 certifikacija.

 

 

PSA tipovi biljaka kisika

Modular Equipment

Modularna oprema

 

Twin Tower Equipment

Oprema blizanca

 

Containerized Equipment

Kontejnerirana oprema

 

 

 

        Odabir NTK95 serije PSA Oxygen Generator    
Ne. Modeli Kapacitet
(NM3/HR)
Čistoća Potrošnja energije od
1nm3 proizveden kisik
(KW/H)
Broj boca
Flid u 12 sati (računala)
Potreban je operator
1 Ntk 95-5 P 5 95%+-1% 3.54 10 2
2 Ntk 95-10 P 10 95%+-1% 2.52 20 2
3 Ntk 95-15 P 15 95%+-1% 2.31 30 2
4 Ntk 95-20 P 20 95%+-1% 2.13 40 2
5 Ntk 95-25 P 25 95%+-1% 2.01 50 2
6 Ntk 95-30 P 30 95%+-1% 2.09 60 2
7 Ntk 95-40 P 40 95%+-1% 1.81 80 2
8 Ntk 95-50 P 50 95%+-1% 1.94 100 2
9 Ntk 95-60 P 60 95%+-1% 1.62 120 2
10 Ntk 95-80 P 80 95%+-1% 1.92 160 2
11 Ntk 95-100 P 100 95%+-1% 1.83 200 2



 

Česta pitanja

 


 

1. Koliko visoka može biti čistoća kisika i ispunjava li zahtjeve za izradom poluvodiča?
Naš generator kisika PSA za poluvodiče može rutinski proizvoditi kisik s čistoćom od 95%± 3%. Za neke procese koji zahtijevaju izuzetno visoku čistoću kisika, prilagođavanjem parametara opreme, čistoća izlaza kisika može se fleksibilno kontrolirati u rasponu od 95% - 99. 9%, u potpunosti ispunjavajući stroge zahtjeve za čistoćom plina u jezgrovim vezama, kao što su poluvodička litografija i oksidacija.


2. Koliko je oprema stabilna i može li osigurati kontinuirani rad linije za proizvodnju poluvodiča?
Oprema prihvaća dvostruki adsorpcijski toranj izmjenjujući način rada, u kombinaciji s PLC inteligentnim upravljačkim sustavom, kako bi se postigao 24- sat neprekinutih i stabilnih opskrba kisikom. Ovaj automatizirani način rada izbjegava prekide opskrbe plinom uzrokovanom ručnom zamjenom boca, omogućuje pouzdanu i stabilnu opskrbu plinom za procese poput taloženja tankog filma i jetkanja koji su osjetljivi na tlak zraka, a učinkovito smanjuje rizik od prekida proizvodnje uzrokovanih problemima s opskrbom plinom.


3. U usporedbi s tradicionalnim metodama opskrbe kisikom, koliki je trošak upotrebe?
U usporedbi s tekućim spremnicima za skladištenje kisika ili plinskim cilindrima visokog pritiska, naš generator PSA kisika prihvaća način proizvodnje kisika na licu mjesta, koji u velikoj mjeri štedi troškove transporta i skladištenja kisika. Oprema zauzima malo područje i može se proširiti modularno, smanjujući troškove najma mjesta. Dugoročno, trošak je oko 20% niži od tradicionalne metode opskrbe kisikom, što značajno štedi operativne troškove.


4. Je li održavanje opreme komplicirano? Koliko traje ciklus održavanja?
Oprema je jednostavna za održavanje, koristeći nehrđajući čelik u hrani i samočišćenja molekularnih sita, što uvelike smanjuje opterećenje održavanja. U normalnim okolnostima, ciklus održavanja je dužan 3-5, a mi smo opremljeni profesionalnim timom za nakon prodaje kako bismo pružili tehničku podršku u bilo kojem trenutku kako bismo vam pomogli u rješavanju problema tijekom rada opreme.

 

 


Zakonite sada kako biste osigurali svoj lanac opskrbe kisikom

 


✅ Prilagođena rješenja:
Recite nam svoj krevet i vršnu potražnju za prilagođenim prijedlogom.
✅ Brza dostava:
Prethodni moduli isporučeni u 8-12 tjednima.
✅ Opcije financiranja:
Dostupni su planovi za iznajmljivanje.

 

Telefonski broj

+86 15888864725

Whatsapp broj

+86 15888864725

E-pošta

sales@newtek-group.com 

 

NEWTEK

 

 

 

Popularni tagovi: PSA generator kisika za poluvodič, kineski PSA generator kisika za poluvodič, dobavljače, tvornicu, PSA biljka kisika

Pošaljite upit

Javite nam se

Napišite svoju poruku